全自动硅片清洗设备的多线程软件设计

• 作者: 侯为萍 刘玉倩 陈仲武 高建利
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 自动化 硅片 湿法 多线程
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 页码范围: 38-43
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.97
• 字数: 868字
• 语种: 中文

摘要

介绍了硅片的全自动单片湿法工艺设备的基本结构，重点阐述了此设备的控制逻辑及优化方案。在软件的开发过程中，采用多线程设计，提高了设备的生产效率和可靠性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高建利	中国电子科技集团公司第四十五研究所	13	19	3.0	4.0
2	侯为萍	中国电子科技集团公司第四十五研究所	13	21	3.0	3.0
3	刘玉倩	中国电子科技集团公司第四十五研究所	21	25	4.0	4.0
4	陈仲武	中国电子科技集团公司第四十五研究所	8	10	2.0	3.0