组合结构的中波红外带通滤光片研制

• 作者: 何光宗 熊长新 王航
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 中波红外 截止带 长波通 短波通 电子束蒸发
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 83-86
• 分类号: O484.4
• 语种: 中文

摘要

采用长短波通膜系组合结构,对膜系光学性能进行了优化设计以及仿真分析.采用电子柬蒸发,离子柬辅助沉积工艺在Si基底两面分别沉积长短通膜.样品的透过率采用红外光谱仪测试,在3.7～4.2μm波段范围内平均透过率在80％以上,在3～3.6 μm和4.3～5 μm波段范围内截止,并将理论设计与实验结果进行了对比分析.样品通过了GJB2485-95规定的环境适应性测试.产品满足设计要求,具有工程化应用价值.