碳化硅磨削亚表面损伤检测方法

• 作者: 刘津廷 康仁科 王健 董志刚 郑非非 郭东明
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: RB-SiC 金刚石砂轮 磨削 亚表面损伤
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 页码范围: 60-65
• 页数: 6页
• 分类号: TG74|TG58
• 字数: 2813字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2015.4.0013

摘要

反应烧结碳化硅(reaction bonded SiC,RBSiC)有着良好的物理和机械性能,在空间光学领域应用广泛。分别采用截面显微法和角度抛光法研究了金刚石砂轮磨削反应烧结碳化硅的亚表面损伤。实验结果表明：应用截面显微法能更直观地反映出损伤的形态和分布特征,角度抛光法测量损伤深度更为精确,亚表面损伤主要以凹坑和微裂纹的形式存在,主要发生在 SiC 颗粒上,且砂轮粒度对损伤影响很大。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	康仁科	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	165	2562	24.0	44.0
2	郭东明	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	273	4547	35.0	54.0
3	王健	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	86	451	11.0	15.0
4	郑非非	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	6	36	4.0	6.0
5	董志刚	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	39	317	9.0	17.0
6	刘津廷	大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室	7	31	2.0	5.0