电子回旋共振等离子体静电探针诊断技术研究

• 作者: 李东珂 李烨 符斯烈 陈俊芳 马俊辉
• 来源期刊: 华南师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 等离子体密度 Langmuir探针 受限轨道理论 电子温度
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 物理学与光学工程
• 页码范围: 29-33
• 页数: 5页
• 分类号: O434.14
• 字数: 2225字
• 语种: 中文
• DOI: 10.6054/j.jscnun.2014.12.039

摘要

采用Langmuir静电单探针和双探针诊断技术对微波电子回旋共振(ECR)装置产生的低温低气压氮气等离子体进行诊断.测量了等离子体密度随微波功率,轴向距离,径向距离的变化关系以及电子温度随轴向距离的变化关系.采用3种不同理论计算等离子体密度;分别采用单探针与双探针测量电子温度.结果表明,由饱和电子电流计算得到的电子密度与由受限轨道理论计算得到的电子密度相一致,约为1×1010/cm3,而由饱和离子电流计算得到的电子密度在2×1010/cm3左右;由单探针测量的轴向电子温度最高可达7 eV,而双探针的测量值最大仅为4.5 eV.越靠近离子源处,这一差异性越明显.然后引入Langmuir受限轨道理论对这些差异现象进行分析,提出电流分离的思想,将电子电流与离子电流分离,证明了受限轨道理论在ECR等离子体中的适用性.通过利用电流分离思想除去离子电流的方法得到负偏压部分的电子电流,解决了使用单探针测量电子温度时直线部分不明显的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈俊芳	华南师范大学物理与电信工程学院	69	768	12.0	26.0
5	李烨	华南师范大学物理与电信工程学院	10	30	3.0	5.0
6	马俊辉	华南师范大学物理与电信工程学院	3	5	2.0	2.0
7	符斯烈	华南师范大学物理与电信工程学院	1	3	1.0	1.0
8	李东珂	华南师范大学物理与电信工程学院	2	3	1.0	1.0