超声波清洗在电镀前处理中的应用及选型

• 作者: 杜斌 郝鹏飞
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 超声波 超声波清洗 电镀前处理
• 年，卷（期）: 2015,（11）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 40-42,46
• 页数: 4页
• 分类号: TN705
• 字数: 2771字
• 语种: 中文

摘要

常规电镀前处理工艺中加入超声波清洗工艺,利用超声波的空化作用对工件特别是外形结构复杂或有孔洞的工件进行清洗,不仅能缩短清洗时间而且提高清洗质量;主要介绍了超声波清洗的原理、结构特点、电镀前处理工艺中的典型超声清洗工艺等,并对超声波参数选择以及影响超声波清洗效果因素等进行了阐述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜斌	中国电子科技集团公司第二研究所	4	4	2.0	2.0
2	郝鹏飞	中国电子科技集团公司第二研究所	5	5	2.0	2.0