ZEISS SUPRA 55场发射扫描电镜的使用与维护

• 作者: 滕颖丽
• 来源期刊: 现代科学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 场发射扫描电镜 使用 维护
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 实验室建设
• 页码范围: 122-125
• 分类号: TB82
• 语种: 中文

摘要

SUPRA 55场发射扫描电镜是由德国蔡司公司制造,它具有分辨率高、束流稳定和良好对称性等特点,能同时进行导电样品和非导电样品的高分辨成像.目前,作为大型精密仪器SUP RA 55场发射扫描电镜,已经在许多大学、科研院所、企业得到广泛使用.从生物学、医学、冶金、材料,到纺织纤维、塑料制品、陶瓷产品的检验等均大量应用扫描电镜作为研究手段.本文介绍ZEISS SUPRA 55场发射扫描电镜使用技巧,然后提出维护方法.除了严格按照ZEISS SUPRA 55场发射扫描电镜操作规程外,正确的日常维护是降低维修成本、延长仪器使用寿命的关键.同时,我们希望能为从事这一领域人员提供帮助.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	滕颖丽		19	50	4.0	6.0