溶胶-凝胶法制备钡钕钛薄膜及其介电性能研究

• 作者: 周冬 张瑶 朱伟欣 杨成韬 杨翼晞 许俊绍
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶(Sol-Gel)法 BNT薄膜 晶化温度 薄膜结构 介电性能
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 页码范围: 477-479
• 页数: 3页
• 分类号: TM22
• 字数: 2373字
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶-凝胶法在Si(111)和Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备Ba4 Nd9.33Ti18O54(BNT)介质薄膜,采用X线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)研究了不同退火温度对薄膜结构和表面形貌的影响.结果表明当薄膜在950℃下退火2h后具有较好结晶质量的钨青铜结构,所得到的薄膜表面较为疏松;通过掺入质量分数为2％B2O3-2SiO2,可进一步将BNT薄膜的晶化温度降至900℃,且结构致密.介电性能测试表明,1 MHz频率下BNST薄膜的介电常数为45,介电损耗为1.1％,30 V偏压下漏电流密度为4.13×10-6 A/cm2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨成韬	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	67	255	8.0	12.0
2	张瑶	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	4	14	2.0	3.0
3	朱伟欣	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	3	1.0	1.0
4	周冬	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	3	1.0	1.0
5	杨翼晞	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	3	1.0	1.0
6	许俊绍	川庆钻探工程有限公司地质勘探开发研究院	1	0	0.0	0.0