G2.5高分辨率TFT扫描投影曝光机

• 作者: 周畅 李喜峰 高孝裕
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 主动有机发光二极管(AMOLED)显示 分辨率 曝光机 关键尺寸(CD)
• 年，卷（期）: 2015,（11）
• 所属期刊栏目: 先进光刻与刻蚀
• 页码范围: 1-7
• 页数: 7页
• 分类号: TN307
• 字数: 2353字
• 语种: 中文

摘要

高分辨率TFT曝光技术随着第三代显示技术--AMOLED显示技术和高PPI显示技术的发展,已经成为平板显示的最关键技术之一,实现高分辨曝光的TFT曝光机也是ARRAY段最核心设备.介绍了可用于G2.5代TFT玻璃基板制造的高分辨率扫描投影曝光机SSB225/10,并以实际测试数据及制造成功的AMOLED显示器件表明该设备能够很好地满足LTPS-TFT工艺要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李喜峰	上海大学新型显示及应用集成技术教育部重点实验室	21	70	5.0	6.0
2	周畅		8	27	4.0	4.0