薄膜晶体管液晶显示器阵列工艺最终关键尺寸测试方法研究

• 作者: 丁向前 刘晓伟 刘耀 张小祥 李梁梁 袁剑峰 郭总杰 陈曦
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 最终关键尺寸 测试方法 扫描电子显微镜 补偿值
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 页码范围: 784-789
• 页数: 6页
• 分类号: TN307
• 字数: 2644字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/YJYXS20153005.0784

摘要

最终关键尺寸是评价薄膜晶体管液晶显示器产品性能的一项重要参数。本文研究了在光源照度变化的条件下得到准确的最终关键尺寸的方法。通过大量的实验测试、数据分析，并配合扫描电子显微镜(SEM)图片，确定最终关键尺寸合适的测试条件和方法。基于上述分析，选取测量值稳定的光照强度区间中心点的光照强度作为标准样品参照值，选取此时样品测试图片作为标准图片。测试结果与 SEM 结果进行对比，得到不同膜层测量值和真实值之间的补偿值。并通过不同尺寸产品的数据收集和分析来验证补偿值的可靠性。通过上述方法，可以极大地缩短最终关键尺寸测量的校正周期，并为今后新产品开发提供可靠的测试标准。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭总杰		7	18	2.0	3.0
2	丁向前		3	7	2.0	2.0
3	袁剑峰		12	32	4.0	4.0
4	刘耀		1	2	1.0	1.0
5	陈曦		1	2	1.0	1.0
6	张小祥		3	5	2.0	2.0
7	刘晓伟		2	8	2.0	2.0
8	李梁梁		2	8	2.0	2.0