大面积光刻胶线棒涂布工艺研究

• 作者: 吴昊 周国富 水玲玲 窦盈莹 金名亮 韦必明
• 来源期刊: 华南师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 线棒涂布法 大面积涂布 高粘度 光刻胶 涂布工艺
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 化学与环境
• 页码范围: 84-89
• 页数: 6页
• 分类号: TQ586.3
• 字数: 3816字
• 语种: 中文
• DOI: 10.6054/j.jscnun.2014.12.015

摘要

介绍了一种在大面积基材上涂布高粘度光刻胶的线棒涂布法.主要针对涂膜厚度与均匀性进行研究,结果表明,膜厚随着光刻胶粘度和涂布棒尺寸的增大而变厚,涂布速度在某一范围内对膜厚无影响.线棒涂布机设备中所加垫板的硬度直接影响涂膜的均匀性,硬度小的垫板可获得更均匀的涂膜,而垫板高度在某一范围内对膜厚无影响.与常用旋涂法相比,线棒涂布法具有操作简单、节省材料和可大面积涂布等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴昊	华南师范大学华南先进光电子研究院彩色动态电子纸显示技术研究所	19	259	7.0	16.0
2	周国富	华南师范大学华南先进光电子研究院彩色动态电子纸显示技术研究所	31	117	8.0	10.0
3	窦盈莹	华南师范大学华南先进光电子研究院彩色动态电子纸显示技术研究所	3	11	2.0	3.0
4	金名亮	华南师范大学华南先进光电子研究院彩色动态电子纸显示技术研究所	5	18	3.0	4.0
5	韦必明	华南师范大学华南先进光电子研究院彩色动态电子纸显示技术研究所	1	8	1.0	1.0