激光沉积大面积均匀薄膜数学模型与实验

• 作者: 王淑云 田方涛 程勇 郭延龙 陆益敏 黄国俊
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 脉冲激光沉积 大面积平面 均匀薄膜 类金刚石膜
• 年，卷（期）: 2015,（7）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 41-45
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2257字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201527.071007

摘要

由于激光烧蚀靶材产生的等离子体呈高斯分布,其中所包含粒子密度及性能的空间分布极不均匀,因此脉冲激光沉积法难以制备性能与膜厚均匀的大面积薄膜.提出并构建了衬底自转与一维变速平移机构,衬底匀速自转的同时,进行一维平移,越靠近等离子体中心平移速率越大、反之越小,达到均匀镀膜的目的;在此基础上建立了机构运动参数对膜厚影响的数学模型,通过仿真模拟分析关键参数对膜厚分布的影响;通过运动参数优化指导实验,最终获得了直径为200 mm、不均匀性不超过±4％的大面积类金刚石膜,与仿真优化结果吻合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程勇	武汉军械士官学校光电技术研究所	63	546	12.0	20.0
2	郭延龙	武汉军械士官学校光电技术研究所	31	246	8.0	15.0
3	田方涛	武汉军械士官学校光电技术研究所	8	23	3.0	4.0
4	王淑云	武汉军械士官学校光电技术研究所	15	65	5.0	7.0
5	陆益敏	武汉军械士官学校光电技术研究所	16	36	4.0	5.0
6	黄国俊	武汉军械士官学校光电技术研究所	11	31	4.0	5.0