工艺参数对飞秒激光沉积硅基ZnO大面积均匀薄膜性能的影响

• 作者: 杨义发 江超
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 飞秒激光 氧化锌 透过率 电阻率
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 页码范围: 631-635
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3473字
• 语种: 中文

摘要

研究了衬底温度、真空度、激光能量、激光脉冲频率及退火处理对飞秒激光制备硅基ZnO大面积均匀薄膜的结构和性能的影响.结果表明,当激光能量为1.5mJ、脉冲频率为400 Hz、真空度为1.0 mPa、衬底温度为80℃时,所制备的薄膜质量最佳.薄膜呈高度c-轴取向,为典型的六方纤锌矿结构,晶粒沿垂直于衬底表面的方向生长;当衬底温度高于80℃时,随着温度的升高,c-轴取向度降低.80℃制备的薄膜在可见紫外区域透过率达98％,电阻率随温度升高而减小,退火后薄膜的透过率增大、电阻率升高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	江超	湖北师范学院物理与电子科学学院	57	277	8.0	15.0
2	杨义发	湖北师范学院物理与电子科学学院	7	9	2.0	2.0