超声波清洗在IC电镀设备中的应用研究

• 作者: 李习周 聂燕 邵荣昌 陈庆伟
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 超声波清洗 原理 电镀设备
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 所属期刊栏目: 清洗、刻蚀技术与设备
• 页码范围: 30-32,41
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.97
• 字数: 2142字
• 语种: 中文

摘要

介绍了超声波清洗的原理,通过研究超声波清洗的特性和对产品表面的损伤,结合IC电镀中的实际问题,总结出超声波清洗的使用条件和实际使用中所具备的优势,为电镀设备的设计和实际使用提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李习周		22	27	3.0	4.0
2	邵荣昌		3	2	1.0	1.0
3	陈庆伟		1	1	1.0	1.0
4	聂燕		1	1	1.0	1.0