飞秒激光精密减薄石英玻璃凹槽实验

• 作者: 吴东江 周思雨 姚龙元 马广义
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 飞秒激光 石英玻璃 烧蚀形貌 表面粗糙度
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 激光加工与应用
• 页码范围: 99-105
• 页数: 7页
• 分类号: TN249|O437
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201542.0303009

摘要

为实现石英玻璃表面凹槽的飞秒激光精密减薄加工,采用线扫描-面减薄的工艺手段,研究脉冲能量对烧蚀线槽形貌的影响,并以此为基础开展不同烧蚀线重叠率δ的单层凹槽减薄实验,通过激光共聚焦显微镜对凹槽的槽深、侧壁角和底面粗糙度等形貌特征进行观测和分析.研究表明,当40％≤δ≤80％时,随着δ的增大,凹槽深度增大、侧壁角减小;当δ=40％时,凹槽的槽深、槽宽、侧壁角分别为14.56 μm、261.8 μm和59.1°.凹槽底面粗糙度Ra和Rx随δ的增大而减小,当δ为80％时分别达到最小值0.19 μm和1.23 μm;平行于扫描速度方向的轮廓算数平均偏差Ra'和微观不平度十点高度Rz'随δ的增大呈现先减小后增大的趋势,当δ为80％时,Ra'≈见、Rz'≈Rz;轮廓三维均方根偏差Sq随δ的增大逐渐减小,最小值为0.16μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴东江		63	533	14.0	20.0
2	马广义		42	204	8.0	12.0
3	周思雨		5	15	2.0	3.0
4	姚龙元		3	6	2.0	2.0