非球面度梯度均方根法确定最佳比较球面及应用

• 作者: 李俊峰
• 来源期刊: 电子测量与仪器学报
• 学科: 工学
• 关键词: 非球面度 非球面度梯度 均方根 加工 检测
• 年，卷（期）: 2015,（10）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 1550-1556
• 页数: 7页
• 分类号: TB133|TG580.692
• 字数: 4030字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13382/j.jemi.2015.10.019

摘要

非球面度是非球面光学元件的重要参数,其值大小及其分布情况将影响到所采用的加工工艺、加工余量大小等.非球面度梯度值可以表征非球面的加工难度,在分析近似公式法、最大非球面度最小化法、最大非球面度梯度最小化法计算非球面最佳比较球面基础上,提出了非球面度梯度均方根值最小化法优化非球面最佳比较球面,从非球面整个镜面非球面度的梯度值考虑了加工的难度,特别适用于大口径高陡度非球面最佳比较球面的确定.以一个有效口径Φ1 000 mm、F/1.44的非球面为例,分析比较了4种方法的计算结果,结果表明非球面度梯度均方根值最小化法是一种综合考虑非球面加工难度和材料去除量的非球面最佳比较球面确定方法,得到的非球面度分布拐点在整个镜面口径的0.82位置附近.按照非球面度均方根值评价加工难度,均方根值最小化法的非球面度的均方根值为传统最大非球面度最小化法的2/3,显著的降低了加工的难度,对加工工艺的确定及表面全频误差段质量控制具有一定的指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李俊峰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	29	122	7.0	9.0