多晶硅太阳电池片生产中的管式PECVD研究

• 作者: 邱燕
• 来源期刊: 自动化技术与应用
• 学科: 工学
• 关键词: PECVD 钝化 太阳电池 多晶硅
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 行业应用与交流
• 页码范围: 85-87,96
• 页数: 4页
• 分类号: TK519
• 字数: 1813字
• 语种: 中文

摘要

本文介绍了等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术制备生成SiNx减反膜和H钝化的机理,并将PECVD技术应用于太阳能电池的工业化大生产中,分析了PECVD产品的异常现象及常用处理方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邱燕		52	52	3.0	6.0