微透镜阵列误差对半导体激光匀化性能的影响

• 作者: 孙秀辉 尹韶云 杜春雷 殷智勇 汪岳峰 雷呈强
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 微透镜阵列 位置误差 半导体激光 均匀光斑
• 年，卷（期）: 2015,（9）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 13-19
• 页数: 7页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 2558字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201527.091002

摘要

为了减小微透镜阵列误差对匀化光斑的影响,深入研究微透镜阵列光束匀化系统中微透镜阵列相对位置误差对光束匀化性能的影响,设计了一种微透镜阵列光束匀化系统.依据相对位置误差类型的不同,将双列微透镜阵列间六个自由度变化导致的误差分为距离误差、偏移误差以及转动误差进行分析,并对每种误差对光束匀化性能的影响进行了研究.采用6板条半导体激光器堆栈对上述匀化系统进行实验验证,实现了均匀性为90.75％的光斑,并对系统影响光斑性能的原因进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪岳峰	军械工程学院电子与光学工程系	86	773	13.0	24.0
2	杜春雷	中国科学院重庆绿色智能技术研究院集成光电技术研究中心	72	596	14.0	18.0
3	雷呈强	军械工程学院电子与光学工程系	16	72	5.0	7.0
4	尹韶云	中国科学院重庆绿色智能技术研究院集成光电技术研究中心	15	36	3.0	5.0
5	殷智勇	装备学院航天指挥系	3	12	2.0	3.0
6	孙秀辉	中国科学院重庆绿色智能技术研究院集成光电技术研究中心	7	21	3.0	4.0