II-VI Advanced公司展示首款200mm碳化硅圆片

• 来源期刊: 半导体信息
• 学科: 工学
• 关键词: 碳化硅衬底 硅圆片 化学气相沉积法 金刚石材料 半导体制造 斯德哥尔摩 供应商 多晶体
• 年，卷（期）: bdtxx_2015,（4）
• 页码范围: 17-17
• 页数: 1页
• 分类号: TN304.24

摘要

II—VI Advanced Materials是一家生产单晶体碳化硅衬底和采用化学气相沉积法生长的多晶体金刚石材料的美国供应商，近期在瑞士斯德哥尔摩举办的2015年化合物复合半导体制造科技会议上发布了世界上首款200mm直径的碳化硅圆片。