光学系统弥散斑参数的测试

• 作者: 张海洋 李坤 李巧玲 段亚轩 潘亮 赵建科 陈永权 龙江波
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学系统 弥散斑参数 CCD显微测量系统 能量等高线 区域填充 椭圆拟合
• 年，卷（期）: 2015,（9）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 2482-2489
• 页数: 8页
• 分类号: TB96|TH703
• 字数: 3351字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20152309.2482

摘要

采用CCD显微成像系统对光学系统弥散斑参数进行定量测量,并设计了弥散斑参数的评价算法.首先,给出了弥散斑参数的定义,分析了弥散斑所形成的能量等高线构成的闭合的连通区域,对占总能量80％的区域计算其弥散斑直径.然后,对该区域的边界点进行椭圆拟合,得到弥散斑圆度.提出的方法通过对光学系统在像平面所成的星点像的能量分布的分析,在弥散斑圆度测试中引入了椭圆拟合,减少了CCD噪声和测试环境中的杂光等随机因素对测试结果的影响,提高了测试结果的置信度.实验结果显示:弥散斑直径测试重复性为0.18 μm,弥散斑圆度测试重复性为1.65％.提出的方法实现了弥散斑参数的定量测试,满足航天项目中光学系统成像质量控制要求.