HF酸腐蚀提高K9基板损伤阈值

• 作者: 张锦龙 曹翀
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: HF酸腐蚀 K9基板 损伤阈值 超声波 粗糙度
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 18-23
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 字数: 3459字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201527.061004

摘要

针对K9玻璃基板的HF酸化学腐蚀工艺开展研究,标定了40％和2％高低两种体积分数的HF酸的腐蚀速率;分析了基板表面形貌随腐蚀深度的变化规律;研究了腐蚀时间、HF酸体积分数、超声波工艺对激光损伤阈值的影响,提出了能够有效减少损伤敏感的氟硅盐沉淀、提高损伤阈值的优化腐蚀清洗工艺流程.采用优化的腐蚀清洗工艺流程进行了实验验证,结果表明用体积分数为2％的HF酸在高温和超声波条件下腐蚀90 s后,测得1064 nm波长激光作用下K9基板抗激光损伤阈值提高了75％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张锦龙	同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所	9	12	2.0	3.0
5	曹翀	同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所	1	1	1.0	1.0