K9基片的亚表面损伤探测及化学腐蚀处理技术研究

• 作者: 张清华 段利华 王世健 许乔 陈宁
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 化学腐蚀 亚表面缺陷 激光损伤阈值 重沉积层
• 年，卷（期）: 2005,（9）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 1289-1293
• 页数: 5页
• 分类号: TN244
• 字数: 2287字
• 语种: 中文

摘要

研究了几种类型的腐蚀液对K9基片化学腐蚀的影响.通过腐蚀液对基片纵向腐蚀速度的变化初步判断了K9基片重沉积层的深度.考察了腐蚀前后基片表面参数的变化以及腐蚀对激光损伤阈值的影响.研究表明,特定的腐蚀液能够对K9基片进行平稳可控的腐蚀,并且腐蚀能提高其激光损伤阈值,其主要原因是去除了重沉积层及表面、亚表面缺陷中的污染物,但过多的腐蚀会暴露本来为重沉积层所掩盖的划痕等亚表面缺陷,所以腐蚀并非越深越好.同时,表面各种杂质与缺陷的去除能够提高材料的机械强度,从而也有利于提高材料的激光损伤阈值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许乔		82	1074	17.0	27.0
2	段利华	重庆大学数理学院	5	37	3.0	5.0
3	张清华		18	154	7.0	12.0
4	陈宁		7	142	5.0	7.0
5	王世健		2	22	2.0	2.0