固结磨料研磨 K9玻璃亚表面损伤层深度测量方法研究

• 作者: 左敦稳 戴子华 朱永伟 李军 高平
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 亚表面损伤 研磨 BOE 分步腐蚀法 BOE 差动腐蚀法 磁流变斑点法
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 页码范围: 6-12
• 页数: 7页
• 分类号: TQ171.684
• 字数: 4139字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2014.5.0002

摘要

光学工件研磨后亚表面损伤层深度是确定其抛光加工余量的重要依据。采用三种典型的光学材料亚表面损伤层深度测量方法(BOE 分步腐蚀法、BOE 差动腐蚀法、磁流变抛光斑点法),测量比较了固结磨料研抛垫(FAP)研磨后 K9玻璃的亚表面损伤层厚度；建立了亚表面损伤模型,分析比较测量误差产生的原因。结果表明：在实验条件下,BOE 分步腐蚀法测量精度优于其他两种方法；BOE 分步腐蚀法、磁流变抛光斑点法、BOE 差动腐蚀法的测量精度分别约为0.1 nm、17 nm、200 nm；亚表面损伤层总深度与其裂纹深度之间存在对数关系。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	左敦稳	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	510	3780	26.0	32.0
2	李军	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	69	660	16.0	22.0
3	朱永伟	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	128	1288	19.0	26.0
4	戴子华	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	5	30	2.0	5.0
5	高平	南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室	3	39	2.0	3.0