4臂边缘驱动变形镜校正低阶像差的仿真计算

• 作者: 刘文广 刘文智 刘李辉 房勇 曹芬 龙吟
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 自适应光学 边缘驱动变形镜 低阶像差 仿真模拟
• 年，卷（期）: 2015,（10）
• 所属期刊栏目: 自适应光学
• 页码范围: 248-258
• 页数: 11页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201542.1012001

摘要

围绕未来固态大功率激光系统中低阶像差补偿的需求,开展了边缘驱动变形反射镜的优化设计和仿真分析.提出了4臂边缘驱动变形镜设计结构,并建立了仿真模型,以变形镜拟合残差面形的均方根(RMS)值和峰-谷(PV)值为目标,分析了不同结构参数对变形镜校正低阶像差能力的影响.根据对离焦、像散和彗差校正拟合残差面形的RMS值和PV值随结构参数变化的曲线,确定了变形镜的最佳设计参数并给出了该参数下拟合离焦、像散和彗差的残差面形RMS值和PV值.对于PV值分别为20、10、10 μm的离焦、像散和彗差,拟合残差面形RMS值和PV值分别为0.2366 μm和1.3762 μm、0.0112 μm和0.1146 μm以及0.1606 μ.m和0.9773 μm.以上结果表明,设计的4臂边缘驱动变形镜的校正效果符合设计要求.