NiCrAlY薄膜应变计的研制

• 作者: 张万里 张洁 杨晓东 蒋书文 蒋洪川 赵晓辉
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 NiCrAlY 薄膜应变计 应变计系数 电阻温度系数
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 105-107
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 2805字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2015)04-0105-03

摘要

采用射频磁控溅射法在Ni基高温合金拉伸件上制备NiCrAlY薄膜应变计。研究了热稳定处理对NiCrAlY薄膜结构、表面形貌的影响，并且测试了NiCrAlY薄膜应变计的电学与应变性能。结果表明：热稳定处理后 NiCrAlY 薄膜应变计由于在表面形成了一层 Al2 O3膜，具有抗高温氧化的特性，在室温～800℃范围内，应变计电阻同温度呈线性变化，电阻温度系数（ TCR）约为290×10－6/℃，室温下的应变计系数（ GF）为2.1。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋洪川	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	74	586	12.0	19.0
2	张万里	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	142	705	13.0	17.0
3	蒋书文	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	30	197	7.0	12.0
4	赵晓辉	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	12	29	3.0	5.0
5	张洁	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	12	46	3.0	6.0
6	杨晓东	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	3	10	3.0	3.0