多孔硅表面缺陷光子晶体的传感模型及特性

• 作者: 朱奇光 王文跃 范卉青 陈卫东 陈颖
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 传感器 光子晶体 多孔硅 反向传播神经网络 灵敏度
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 光学器件
• 页码范围: 330-336
• 页数: 7页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS201535.0523001

摘要

提出了多孔硅表面缺陷光子晶体结构,引入多孔硅敏感层及吸收介质层形成表面缺陷腔,利用多孔硅高效的承载机制,将其作为待测样本的传感区域;由于吸收介质ZnS对谐振波长的吸收,可在反射光谱中获得与谐振波长对应的缺陷峰.以多孔硅的厚度为被优化变量,利用反向传播神经网络进行结构参数优化获得多孔硅的厚度最优值.由Goos-H(a)nchen位移建立待测样本浓度与缺陷峰波长的关系模型,进而对该结构进行传感特性分析.结果表明,优化结构参数后,缺陷峰对应的反射率由31.23％下降到0.00129％,其Q值可达1537.37.在传感特性研究中,每1％质量分数的灵敏度为2.5 nm.该表面缺陷光子晶体传感结构可为样本浓度、组分等信息的监测提供一定的理论参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈颖		63	441	11.0	19.0
2	陈卫东		44	380	11.0	18.0
3	朱奇光		54	398	10.0	19.0
4	王文跃		6	11	2.0	3.0
5	范卉青		7	15	3.0	3.0