阴极弧离子镀TiCN涂层的SEM-EDS面扫描与线扫描分析

• 作者: 孔德军 王文昌 王进春 郭皓元
• 来源期刊: 稀有金属材料与工程
• 关键词: TiCN涂层 SEM-EDS面扫描 SEM-EDS线扫描 结合强度
• 年，卷（期）: 2015,（12）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 3000-3004
• 页数: 5页
• 语种: 中文

摘要

采用阴极弧离子镀在Cr12MoV冷作模具钢表面制备了TiCN涂层,通过扫描电镜(SEM)和能谱仪(EDS)分析了涂层表面化学元素的面分布和界面化学元素的线分布.讨论了涂层界面结合机理,用划痕法对结合强度进行了表征分析.结果表明,涂层主要是由TiN、TiC和C原子组成,其中TiN和TiC提高了涂层硬度,C原子改善了涂层摩擦润滑性能;涂层中N原子分数超过C原子分数,界面结合处发生了相互扩散,涂层中C原子扩散量最大,基体中Si原子扩散量最大,涂层与基体形成了冶金结合,利用划痕法测定TiCN涂层结合强度为79.6 N.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孔德军		95	414	9.0	13.0
2	王文昌		43	199	7.0	11.0
3	王进春		13	38	4.0	6.0
4	郭皓元		10	41	4.0	6.0