占空比对多弧离子镀TiAlN涂层表面形貌和性能的影响

• 作者: 周军 李怀林 李涛 樊湘芳
• 来源期刊: 粉末冶金材料科学与工程
• 关键词: 多弧离子镀 占空比 TiAlN涂层 表面形貌 膜基结合力 高温抗氧化性 物相组成
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 工艺技术
• 页码范围: 328-334
• 页数: 7页
• 分类号: TG146.4+14
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-0224.2018.03.014

摘要

采用多弧离子镀技术在不同的占空比条件下于锆合金表面制备TiAlN涂层.利用扫描电子显微镜观察涂层的表面和截面微观形貌;利用能谱分析涂层的表面元素成分;利用箱式电阻炉测试涂层在800 ℃空气中持续进行3 h的高温氧化性能;利用自动划痕仪在常温下测试涂层的膜基结合力;利用X射线衍射仪分析涂层的物相组成.结果表明:占空比可显著影响TiAlN涂层的表面和截面的微观形貌、元素成分比例、高温抗氧化性、膜基结合力及物相组成.随占空比增大,TiAlN涂层表面的大颗粒数目减少,表面质量得到改善,涂层的沉积速率先增大后减少,致密性一直增加;能谱分析表明Al元素与Ti元素质量比逐渐减小,Al元素与Ti元素的质量比值最大为2.437;占空比为50％时所制备涂层的高温抗氧化性能最好,膜基结合力最大,为32 N;占空比为30％时,TiAlN涂层中Ti3AlN表现出(111)晶面、AlN在(100)晶面择优取向,随占空比增加,物相无择优取向现象.以50％占空比的工艺参数镀TiAlN涂层表面质量较好,膜基结合力较强,高温抗氧化性能优良.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	樊湘芳	南华大学机械工程学院	102	318	9.0	12.0
2	李涛	南华大学机械工程学院	48	149	6.0	10.0
3	周军	南华大学机械工程学院	14	46	4.0	6.0
4	李怀林		17	43	4.0	5.0