大量程纳米位移传感器的微纳加工制造

• 作者: 丑修建 杨杰 王成 许卓 陈东红
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 时栅 自动拼接 图形转移 纳米测量
• 年，卷（期）: 2015,（10）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 60-62
• 页数: 3页
• 分类号: TP302
• 字数: 1336字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2015)10-0060-03

摘要

针对解决大量程纳米位移精度测量难度大的问题，提出了新型纳米时栅传感器。就大量程、高精度位移传感器的亚微米精度加工而言，宏观尺度范围内周期性结构单元一致性制造是保证位移传感器可靠性和高精度测量的关键所在。对上述提出的问题，采用高精度自动拼接曝光技术加工并实现了大量程标尺的图形转移，结合微纳加工方式实现时栅传感器亚微米级精度的制造。通过实验验证所加工出的样机能够达到预期目标，并且测量误差峰值在500 nm以内。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丑修建	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	49	225	9.0	13.0
2	杨杰	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	5	64	4.0	5.0
3	陈东红	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	5	27	3.0	5.0
4	许卓	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	2	46	2.0	2.0
5	王成	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	1	5	1.0	1.0