静电悬浮加速度计轴间耦合误差角的在线测量

• 作者: 刘云峰 刘爽 董景新
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 交通运输
• 关键词: 静电悬浮加速度计 耦合误差角 姿态角 变预载 在线测量
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 415-422
• 页数: 8页
• 分类号: TH824.4|U666.1
• 字数: 4217字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20152302.0415

摘要

静电悬浮加速度计轴间耦合误差角与悬浮质量块的平行度误差有关,而常规方法很难测量其大小和方向,故本文提出了一种变预载轴间耦合误差角在线测量方法.通过分析悬浮质量块平行度误差、耦合误差角、姿态角与静电力耦合的关系,推导了变预载法进行在线耦合误差角精确测量的原理和公式.设计了静电悬浮加速度计原理样机,并利用该样机对提出的测量方法进行了实验验证.实验测得X向对Y/Z向耦合误差角分别为-5.10×10-4 rad和2.36×101rad,与理论分析相符.该方法同样适用于Y向对X/Z及Z向对X/Y的耦合误差角的在线测量.上述结果表明该方法可以有效、精确地完成静电悬浮加速度计不同轴之间耦合误差角的在线测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董景新	清华大学精密仪器系高精度导航技术教育部重点实验室	89	741	14.0	20.0
2	刘云峰	清华大学精密仪器系高精度导航技术教育部重点实验室	51	405	12.0	16.0
3	刘爽	清华大学精密仪器系高精度导航技术教育部重点实验室	7	64	5.0	7.0