自组装静电驱动微机电系统倾斜镜

• 作者: 于军胜 汪为民 王强 邱传凯
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 倾斜镜 微机电系统 静电驱动 自组装
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 138-142
• 页数: 5页
• 分类号: TN242
• 字数: 576字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201527.024127

摘要

研制了一种基于自组装技术的静电驱动微机电系统(MEMS)倾斜镜,并利用表面硅工艺PolyMUMPs制备了样品.倾斜镜主要由一个中心镜面,两个偏转梁和两个可实现自组装的复合悬臂梁组成.中心镜面离衬底的高度可通过增大金和多晶硅复合悬臂梁的残余应力梯度得到提升.热退火技术被用于提高金层的残余应力.器件结构利用有限元仿真软件进行了优化并通过实验进行了验证.经过200℃热退火后,倾斜镜的偏转角度可以达到3.6°.该倾斜镜可运用于微光机电系统.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王强	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	267	5471	42.0	69.0
3	于军胜	电子科技大学光电信息学院	72	436	10.0	15.0
6	邱传凯	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	23	186	9.0	12.0
7	汪为民	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	16	32	3.0	4.0