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超细Ar/O2大气压等离子体射流选择性去除聚氯代对二甲苯薄膜
超细Ar/O2大气压等离子体射流选择性去除聚氯代对二甲苯薄膜
作者:
刘景全
杨斌
杨春生
郭红磊
陈翔
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
大气压等离子体射流
微针
聚合物薄膜
选择性去除
摘要:
介绍了一种在大气压环境下产生超细Ar/O2等离子体射流的装置.为了降低等离子体射流的尺寸,一种特制的玻璃微针被用于制作等离子体射流源.当施加在电极上的电压为4.0 kV时,该装置能产生基本均匀和稳定等离子体射流,且等离子体射流的线宽仅有几μm.此外,探究了该超细等离子体射流选择性去除聚氯代对二甲苯薄膜的可能性.实验结果表明,该超细Ar/O2等离子体射流能有效地选择性去除聚氯代对二甲苯薄膜,去除速率可达2.4 μm/min.因此,这种超细Ar/O2大气压等离子体射流有可能用于材料的超细加工.
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放电参量
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微等离子体
聚合物薄膜
工艺参数
刻蚀工艺
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内容分析
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相关文献总数
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文献信息
篇名
超细Ar/O2大气压等离子体射流选择性去除聚氯代对二甲苯薄膜
来源期刊
强激光与粒子束
学科
物理学
关键词
大气压等离子体射流
微针
聚合物薄膜
选择性去除
年,卷(期)
2015,(2)
所属期刊栏目
微/纳米制备与测量技术
研究方向
页码范围
71-75
页数
5页
分类号
O531
字数
548字
语种
中文
DOI
10.11884/HPLPB201527.024114
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研究主题发展历程
节点文献
大气压等离子体射流
微针
聚合物薄膜
选择性去除
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
强激光与粒子束
主办单位:
中国工程物理研究院
中国核学会
四川核学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1001-4322
CN:
51-1311/O4
开本:
大16开
出版地:
四川绵阳919-805信箱
邮发代号:
62-76
创刊时间:
1989
语种:
chi
出版文献量(篇)
9833
总下载数(次)
7
总被引数(次)
61664
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