基于原子层沉积的Al2O3薄膜微观形貌研究

• 作者: 张易军 景蔚萱 李常胜 杨树明 林启敬 王琛英 蒋庄德
• 来源期刊: 稀有金属材料与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 原子层淀积 Al2O3 多重分形
• 年，卷（期）: 2015,（12）
• 所属期刊栏目: 材料工艺
• 页码范围: 3078-3082
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 语种: 中文

摘要

研究利用原子层沉积获得的小于10 nm Al2O3薄膜表面形貌特点.采用该技术获得4和8 nm的Al2O3薄膜,利用原子力扫描电镜(AFM)和扫描电镜(SEM)对薄膜表面形貌进行测量,通过最小二乘法和多重分形研究薄膜表面形貌,分析得出利用原子层沉积技术加工超薄Al2O3薄膜,其形貌与成膜原理有关,与厚度无关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋庄德		165	1512	18.0	28.0
2	景蔚萱		17	72	5.0	7.0
3	杨树明		12	29	3.0	5.0
4	王琛英		6	1	1.0	1.0
5	林启敬		6	14	2.0	3.0
6	李常胜		1	0	0.0	0.0
7	张易军		1	0	0.0	0.0