电子束熔炼去除多晶硅中镁元素的研究

• 作者: 高孝书
• 来源期刊: 东方教育
• 关键词: 多晶硅 电子束熔炼 杂质元素 Mg 挥发速率
• 年，卷（期）: 2015,（9）
• 所属期刊栏目: 综合论坛
• 页码范围: 400
• 页数: 1页
• 语种: 中文

摘要

采用电子束熔炼的方法提纯多晶硅.重点研究多晶硅中的杂质元素Mg在电子束熔炼时中的挥发情况.实验用功率为200Kw电子枪,熔炼30min后,多晶硅中Mg元素含量从不高于5.0×10-4%(质量分数)降低至1.7×10-5%(质量分数);实验结果表明,熔炼初期杂质元素 Mg 的挥发速率遵循一阶反应方程,随着熔炼时间的增长,挥发速率逐步减缓,最终趋于稳定.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高孝书	宁夏职业技术学院能源与化工技术系	8	7	2.0	2.0