微电子工艺中的清洗技术现状与展望

• 作者: 向超
• 来源期刊: 房地产导刊
• 关键词: 微电子 工艺 清洗技术
• 年，卷（期）: 2015,（34）
• 所属期刊栏目: 理论前沿
• 页码范围: 453
• 页数: 1页
• 字数: 2225字
• 语种: 中文

摘要

随着电子科学与技术的快速发展,微电子产品已经在众多领域得到了广泛的应用.伴随着微电子产品应用范围的不断扩大,人们对电子产品的质量问题给予了高度关注.可靠性是衡量产品质量的重要指标,确保微电子工艺的可靠性,对于保证产品质量,发挥产品应有的性能具有重要意义.微电子工艺在当前人们的生活工作环境中运用的非常广泛,因此也占有着十分重要的地位.由此而来的关于微电子工艺中的清洗技术也就更加受人们关注了,因为良好的清洗技术能更好的保障电子产品的持续使用性及其功能完善性,该技术将对微电子工艺带来极其重要的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	向超		2	0	0.0	0.0