硅氧合金薄膜结构光电特性及其在硅基薄膜太阳电池中的应用

• 作者: 宋伟杰 方旭阳 李红江 段娟梅 王维燕 高琛 黄金华
• 来源期刊: 中国科学（技术科学）
• 关键词: 硅氧合金薄膜 宽带隙 窗口层 吸收层 反射层 太阳电池
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 评述
• 页码范围: 213-224
• 页数: 12页
• 语种: 中文
• DOI: 10.1360/N092015-00222

摘要

硅薄膜合金化可调控硅基薄膜的光学带隙、折射率等特性,是提高硅基薄膜太阳电池性能的重要途径之一.硅氧合金薄膜是由富硅相和非晶富氧相组成的双相体系,具有高电导、宽带隙、低折射率等特性,可用于硅基薄膜太阳电池的吸收层及辅助层,提高太阳电池的性能,是近期硅基合金薄膜的研究热点.本文将概述硅氧合金薄膜的微观结构、光电特性,及其在硅基薄膜电池窗口层、吸收层、中间反射层、背反射层等的应用.