基于局部扫描的实时反馈纳米操作系统

• 作者: 侯静 吴成东 李孟歆 袁帅 许可
• 来源期刊: 沈阳工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 局部扫描 温漂补偿 纳米操作 实时反馈 原子力显微镜 路标观测 快速扫描 有效性
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 信息科学与工程
• 页码范围: 74-79
• 页数: 6页
• 分类号: TN16
• 字数: 3646字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7688/j.issn.1000-1646.2016.01.13

摘要

由于压电陶瓷机构的非线性及系统温度漂移等因素使AFM探针难以精确定位到被操作物体,从而导致跳针或滑落现象,阻碍了AFM纳米操作的发展.为了解决该问题,提出了基于局部扫描的实时反馈纳米操作系统.系统以样品表面的纳米颗粒作为路标并对其进行持续观测,解决了系统温漂引起的探针定位误差问题,提高了探针的定位精度;在纳米操作过程中采用局部扫描策略,通过对操作后的结果进行快速扫描,实现了实时反馈纳米操作系统.实验结果验证了该纳米操作实时反馈系统在大温漂条件下操作的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴成东	东北大学信息科学与工程学院	168	1357	19.0	27.0
2	李孟歆	沈阳建筑大学信息与控制工程学院	78	244	9.0	13.0
3	许可	沈阳建筑大学信息与控制工程学院	72	382	10.0	15.0
5	袁帅	沈阳建筑大学信息与控制工程学院	23	126	7.0	11.0
9	侯静	沈阳建筑大学信息与控制工程学院	7	17	3.0	4.0