面向微型近红外光谱仪的高效扫描光栅微镜设计

• 作者: 周颖 杨婷雁 温志渝
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描光栅微镜 高衍射效率 近红外光谱仪 电磁驱动
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 微纳技术
• 页码范围: 064127-1-064127-6
• 页数: 1页
• 分类号: TN214
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201628.064127

摘要

近年来，随着微光机电系统（MOEMS）技术的快速发展，光谱仪朝着微型化、低成本、高性能方向发展。基于MOEMS 技术制作的闪耀光栅可集成于扫描微镜，其作为近红外光谱仪的核心部件，可实现单管探测器代替昂贵的阵列式探测器，以降低近红外光谱仪成本与体积。设计了一种高性能扫描光栅微镜，以提高光谱仪的探测灵敏度。扫描微镜表面集成高衍射效率光栅，背面制作电磁驱动线圈。采用光学软件与有限元方法对器件参数进行优化。仿真结果表明：扫描光栅微镜谐振频率为484.38 Hz，最大扭转角度为±4.55°，在800～1800 nm 工作波长范围内，整体动态衍射效率在54％以上且最大值达90％。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周颖	重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室	17	119	7.0	10.0
5	温志渝	重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室	143	1259	18.0	26.0
9	杨婷雁	重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室	1	1	1.0	1.0