一种MEMS加速度计的温度误差补偿方法

• 作者: 何刚 潘宏生 郝嵘 马超 高国伟
• 来源期刊: 北京信息科技大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 加速度计 最小二乘法 温度补偿
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 页码范围: 38-42
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.6
• 字数: 3069字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16508/j.cnki.11-5866/n.2016.01.008

摘要

为降低温度对微电子机械系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)加速度计的影响,设计了一种MEMS加速度计用于倾角测量方面的温度补偿方法.根据加速度计静态模型以及加速度计测量倾角的原理建立了固定温度下的温度补偿模型,模型中引入了角度以及其它未知参数,利用最小二乘法并结合实验获得的加速度计输出的AD值和给定角度值,求得了固定温度下温度补偿模型中的未知参数,利用该模型计算出了固定温度下补偿后的角度值.经验证,补偿后倾角测量精度提高了2个数量级.该补偿方法精度较高,操作方便,适于批量校准,已成功应用于某起重机底盘水平状态监控系统中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高国伟	北京信息科技大学自动化学院	67	175	7.0	9.0
2	潘宏生	北京信息科技大学自动化学院	6	18	3.0	4.0
3	马超	北京信息科技大学自动化学院	47	89	5.0	6.0
4	郝嵘	北京信息科技大学自动化学院	6	13	3.0	3.0
5	何刚	北京信息科技大学自动化学院	7	15	3.0	3.0