工业泵在湿法腐蚀清洗设备中的应用

• 作者: 夏楠君 祝福生 郭春华
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 泵 湿法腐蚀清洗 自动供液系统
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 电子专用设备研究
• 页码范围: 43-46
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 3934字
• 语种: 中文

摘要

介绍了几种常用泵的原理及在湿法腐蚀清洗设备中的典型应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭春华	中国电子科技集团公司第四十五研究所	3	4	2.0	2.0
2	祝福生	中国电子科技集团公司第四十五研究所	15	29	3.0	5.0
3	夏楠君	中国电子科技集团公司第四十五研究所	10	11	2.0	3.0