增强型局域表面等离子体共振纳米直写光刻

• 作者: 何家玉 姚纳 王耀辉 王长涛 罗先刚
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 局域表面等离子体共振 纳米直写光刻 Bowtie孔径结构 金属-介质-金属结构
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: ?微纳光学?
• 页码范围: 71-76
• 页数: 6页
• 分类号: O53|TN305.7
• 字数: 2761字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2016.01.013

摘要

本文将Bowtie孔径结构与金属-介质-金属结构相结合，提出了一种新的局域表面等离子体共振纳米直写光刻结构，得益于金属-介质-金属结构中顶层透射Ag对透射光的放大增强以及底层反射Ag对透射光的反射补偿作用，聚焦光斑的尺寸得到压缩的同时深度得到了显著提高，理论仿真中当焦斑的FWHM为28 nm时，焦斑深度可以达到20 nm以上，这相对于传统纳米直写光刻结构，将焦斑的深度提升了4倍。随后，通过相关验证实验在光刻胶中获得了FWHM为47 nm，曝光深度为25 nm的焦斑图形，进一步证实了该结构在压缩焦斑尺寸以及提升焦斑深度上的显著优势。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何家玉	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	3	10	2.0	3.0
2	罗先刚	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	52	315	9.0	15.0
3	王耀辉	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	17	370	5.0	17.0
4	王长涛	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	14	65	5.0	7.0
5	姚纳	中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室	2	6	2.0	2.0