通过优化工作气体分压提高准分子激光器脉冲能量输出

• 作者: 尹广玥 方晓东 游利兵 王庆胜 邱红松
• 来源期刊: 量子电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 KrF准分子激光器 气体分压优化 气体混合物 缓冲气体
• 年，卷（期）: 2016,（3）
• 所属期刊栏目: 激光技术与器件
• 页码范围: 296-300
• 分类号: TN248
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5461.2016.03.006

摘要

分别研究了Ne、F2和Kr对KrF准分子激光器脉冲能量输出的影响.理论分析了Ne作为缓冲气体在激光器放电过程中的碰撞过程,并对Ne与其他种类缓冲气体进行了对比分析.F2分压对脉冲能量输出的影响非常明显.工作气体中Kr参与的三体碰撞过程占主导地位,激光脉冲能量输出与Kr分压呈二次函数关系.当充电电压为28.7 kV,在最优化工作气体分压(F2∶He∶Kr∶Ne=0.315∶5.985∶19.5∶305 kpa)下获得的最大单脉冲输出能量为807 mJ,全电效率为1.64％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方晓东	中国科学院安徽光学精密机械研究所安徽省光子器件与材料重点实验室	73	301	9.0	13.0
2	游利兵	中国科学院安徽光学精密机械研究所安徽省光子器件与材料重点实验室	26	135	8.0	10.0
3	尹广玥	中国科学院安徽光学精密机械研究所安徽省光子器件与材料重点实验室	7	19	3.0	4.0
4	王庆胜	中国科学院安徽光学精密机械研究所安徽省光子器件与材料重点实验室	10	44	5.0	6.0
5	邱红松	中国科学院安徽光学精密机械研究所安徽省光子器件与材料重点实验室	1	2	1.0	1.0