0.73 J脉冲能量KrF准分子激光器的特性

• 作者: 余吟山 方晓东 游利兵 赵家敏
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 准分子激光器 激光退火 大能量 磁脉冲压缩
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 所属期刊栏目: 脉冲功率技术
• 页码范围: 3060-3064
• 页数: 5页
• 分类号: TN248.2
• 字数: 2903字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20132511.3060

摘要

研制了一台KrF大能量准分子激光器,激光器采用紧凑型Chang电极与紫外火花预电离的结合,实现了激活区大面积的均匀辉光放电,利用LC反转倍压以及一级磁脉冲压缩技术在放电电容上实现了峰值电压40 kV、脉冲上升时间约为100 ns的高压快脉冲激励.研究了工作气体含量对激光器能量输出的影响,在总气压3.3×105 Pa,F2/He,Kr,Ne体积分数比值为1.97∶3.18∶94.85,充电电压27 kV时,得到了738mJ的单脉冲能量输出,激光近场光斑30 mm×14 mm,在充电电压23 kV时,全电效率最高,达到2.0％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余吟山	中国科学院安徽光学精密机械研究所	29	165	9.0	11.0
2	方晓东	中国科学院安徽光学精密机械研究所	73	301	9.0	13.0
3	赵家敏	中国科学院安徽光学精密机械研究所	7	46	5.0	6.0
4	游利兵	中国科学院安徽光学精密机械研究所	26	135	8.0	10.0