一种两级微桥结构快速测温微型传感器的研制

• 作者: 王宁 秦自强 邓佩刚
• 来源期刊: 武汉工程大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 温度传感器 微桥机构 热响应 时间常数 热损失
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 机电与信息工程
• 页码范围: 195-199
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 3113字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-2869.2016.02.017

摘要

设计了一种新型薄膜热电阻温度传感器.传感器感温结构由基片(Si)/绝缘层(SiO2)/感温部(Pt)组成,Pt薄膜片以悬空的微桥连接方式搭接在SiO2片上,SiO2片也以同样的方式搭接在Si片上,以此构成两级微桥机构.较之传统温度传感器,该感温部件采用悬空布置结构可使测温过程中的热损失大为减少,并能保证温度传感器热响应的线性度和可靠性.通过ANSYS有限元软件仿真Pt薄膜片在不同厚度SiO2片下的温度分布情况.当SiO2片厚度为2μm,该传感器热响应时间常数达到最小的10 ms,与SiO2片厚度为5μm和10μm相比其时间常数减小了50％以上.研究结果表明:在温度测量过程中,SiO2片厚度对感温的Pt薄膜片热损失影响很大,在设计中应尽可能减小SiO2片厚度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王宁	武汉工程大学理学院	4	8	1.0	2.0
2	邓佩刚	武汉工程大学理学院	2	7	1.0	2.0
3	秦自强	武汉工程大学理学院	1	1	1.0	1.0