重回摩尔定律两大武器：EUV和三五族 成大势所趋

• 来源期刊: 半导体信息
• 学科: 工学
• 关键词: 摩尔定律 武器 EUV 纳米制程 半导体材料 纳米时代 世代交替 微影技术
• 年，卷（期）: bdtxx,（2）
• 页码范围: 2-3
• 页数: 2页
• 分类号: TP332

摘要

英特尔在14纳米及10纳米制程推进出现延迟，已影响到处理器推出时程，也让业界及市场质疑：摩尔定律是否已达极限。不过，英特尔仍积极寻求在7纳米时代重回摩尔定律的方法，其中两大武器，分别是被视为重大微影技术世代交替的极紫外光（EUV），以及开始采用包括砷化铟镓（InGaAs）及磷化铟（InP）等三五族半导体材料。