硅片上下料设备中精度公差对稳定性影响的分析

• 作者: 杨杰
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 硅片自动化设备 精度 公差 稳定性
• 年，卷（期）: 2016,（7）
• 所属期刊栏目: 太阳能光伏技术与设备
• 页码范围: 15-17
• 页数: 3页
• 分类号: TN948.43
• 字数: 1163字
• 语种: 中文

摘要

主要阐述了生产过程中硅片自动化上下料设备的设计精度、装配精度对设备稳定性的影响情况;具体分析了单个机构的精度、公差,机构之间的公差在生产中的影响;总结了相关机构应遵循的精度、公差要求;对其他自动化设备如石墨舟上下料、石英舟上下料设备的研制与提高稳定性、可靠性也有借鉴、指导作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨杰	中国电子科技集团公司第二研究所	19	63	4.0	7.0