355nm脉冲激光清洗溶胶-凝胶膜面颗粒污染

• 作者: 姚春梅 章春来
• 来源期刊: 中国科学（技术科学）
• 关键词: 激光清洗 等离子体冲击波 溶胶-凝胶 颗粒污染 高功率激光
• 年，卷（期）: 2016,（9）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 926-930
• 页数: 5页
• 语种: 中文
• DOI: 10.1360/N092016-00111

摘要

在强激光系统中,光学元件表面的颗粒污染极大地限制了元件的使用寿命.本文在355 nm纳秒脉冲激光入射下,采用激光等离子体冲击波光栅式扫描技术,清洗了溶胶-凝胶SiO2薄膜表面的石英颗粒污染.当瞄准距d取为0.5～1.5 mm时,膜面的清洗效率η达到90％以上.当d＜0.5 mm时,膜面易产生等离子体灼伤.当d接近3mm时,清洗效果基本丧失.采用紫外-可见分光光度计、静滴接触角测量仪与原子力显微镜对样品进行测试,结果表明,冲击波清洗之后,元件透射峰能恢复到污染前的状态.由于冲击波对颗粒的碎裂作用,清洗后膜面均方根粗糙度由1.755 nm增大为2.681 nm,膜面与水的接触角由48°减为6°,其抗污染能力明显变差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	章春来		2	0	0.0	0.0
2	姚春梅		3	1	1.0	1.0