磁控溅射沉积抗氧化、长寿命二硫化钼基复合薄膜

• 作者: 张广安 李浩 李霞 王立平
• 来源期刊: 摩擦学学报
• 学科: 工学
• 关键词: MoS2基复合薄膜 抗氧化 高真空 摩擦学性能
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 708-716
• 分类号: TH117.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.16078/j.tribology.2016.06.007

摘要

采用磁控溅射技术制备了MoS2,Ti/MoS2,Pb/MoS2和Pb-Ti/MoS2复合薄膜.通过AFM,SEM和XRD对薄膜的形貌和结构进行分析;利用纳米压痕仪,CSM摩擦试验机和Bainano高真空摩擦试验机分析薄膜的力学和摩擦学性能,并探讨了Pb、Ti掺杂对薄膜的结构,力学和摩擦学性质的影响.结果表明:Pb-Ti/MoS2复合薄膜具有非常致密的结构,表面光滑平整,且具有较高的硬度;Pb、Ti共掺杂显著提高MoS2薄膜在RH75％高湿度环境下和真空环境下的摩擦学性能,在潮湿大气和真空环境下磨损率分别为未掺杂MoS2的13％和25％,且低于单一掺杂MoS2薄膜.Pb-Ti/MoS2复合薄膜优异的摩擦学性能得益于Pb掺杂元素增加薄膜结构的致密度和Ti掺杂元素提高薄膜的抗氧化和力学性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张广安	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	29	137	7.0	10.0
2	李浩	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	64	498	10.0	21.0
6	李霞	中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室	68	490	13.0	20.0