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激光诱导化学液相沉积Fe膜的研究
激光诱导化学液相沉积Fe膜的研究
作者:
侯占杰
唐星
朱玉斌
李运波
王振
罗穆伟
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
激光技术
化学液相沉积
副产物
激光功率密度
沉积层厚度
Fe(CO)5
摘要:
为了沉积出表面平整、尺寸精确、沉积区域具有可选择性的Fe膜,采用YAG固体激光器,以Fe( CO) 5 为液相前驱体,利用一定厚度的石英片减少副产物,在激光功率密度为1.0 ×106 W/cm2、激光频率为2.5kHz、激光扫描速率为300mm/s、激光重复扫描次数为200次的条件下,沉积出表面平整性较好、并且具有一定厚度的Fe沉积层. 通过测试分析发现,沉积层表面质量受激光功率密度影响较大;激光功率密度是影响到沉积层能否沉积以及沉积厚度的重要参量.结果表明,通过激光诱导,以Fe( CO) 5 为前驱体,可以实现铜表面的Fe膜的沉积.
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文献信息
篇名
激光诱导化学液相沉积Fe膜的研究
来源期刊
激光技术
学科
化学
关键词
激光技术
化学液相沉积
副产物
激光功率密度
沉积层厚度
Fe(CO)5
年,卷(期)
2016,(1)
所属期刊栏目
激光与光电子技术应用
研究方向
页码范围
136-140
页数
5页
分类号
O644.18
字数
4377字
语种
中文
DOI
10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.01.030
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
朱玉斌
上海大学材料科学与工程学院电子信息系
30
98
6.0
8.0
2
李运波
上海大学材料科学与工程学院电子信息系
15
67
5.0
8.0
3
唐星
上海大学材料科学与工程学院电子信息系
5
9
2.0
2.0
4
王振
上海大学材料科学与工程学院电子信息系
12
13
3.0
3.0
5
侯占杰
上海大学材料科学与工程学院电子信息系
7
25
3.0
4.0
6
罗穆伟
上海大学材料科学与工程学院电子信息系
2
2
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引文网络
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引证文献(2)
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研究主题发展历程
节点文献
激光技术
化学液相沉积
副产物
激光功率密度
沉积层厚度
Fe(CO)5
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
激光技术
主办单位:
西南技术物理研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
1001-3806
CN:
51-1125/TN
开本:
大16开
出版地:
四川省成都市238信箱
邮发代号:
62-74
创刊时间:
1971
语种:
chi
出版文献量(篇)
4090
总下载数(次)
10
总被引数(次)
25972
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