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摘要:
为了沉积出表面平整、尺寸精确、沉积区域具有可选择性的Fe膜,采用YAG固体激光器,以Fe( CO) 5 为液相前驱体,利用一定厚度的石英片减少副产物,在激光功率密度为1.0 ×106 W/cm2、激光频率为2.5kHz、激光扫描速率为300mm/s、激光重复扫描次数为200次的条件下,沉积出表面平整性较好、并且具有一定厚度的Fe沉积层. 通过测试分析发现,沉积层表面质量受激光功率密度影响较大;激光功率密度是影响到沉积层能否沉积以及沉积厚度的重要参量.结果表明,通过激光诱导,以Fe( CO) 5 为前驱体,可以实现铜表面的Fe膜的沉积.
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文献信息
篇名 激光诱导化学液相沉积Fe膜的研究
来源期刊 激光技术 学科 化学
关键词 激光技术 化学液相沉积 副产物 激光功率密度 沉积层厚度 Fe(CO)5
年,卷(期) 2016,(1) 所属期刊栏目 激光与光电子技术应用
研究方向 页码范围 136-140
页数 5页 分类号 O644.18
字数 4377字 语种 中文
DOI 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2016.01.030
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 朱玉斌 上海大学材料科学与工程学院电子信息系 30 98 6.0 8.0
2 李运波 上海大学材料科学与工程学院电子信息系 15 67 5.0 8.0
3 唐星 上海大学材料科学与工程学院电子信息系 5 9 2.0 2.0
4 王振 上海大学材料科学与工程学院电子信息系 12 13 3.0 3.0
5 侯占杰 上海大学材料科学与工程学院电子信息系 7 25 3.0 4.0
6 罗穆伟 上海大学材料科学与工程学院电子信息系 2 2 1.0 1.0
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研究主题发展历程
节点文献
激光技术
化学液相沉积
副产物
激光功率密度
沉积层厚度
Fe(CO)5
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
激光技术
双月刊
1001-3806
51-1125/TN
大16开
四川省成都市238信箱
62-74
1971
chi
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4090
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