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微波法制备单晶金刚石的研究进展
微波法制备单晶金刚石的研究进展
作者:
刘繁
汪建华
王小安
翁俊
黄平
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
微波等离子体
化学气相沉积
单晶金刚石
摘要:
人工合成金刚石的方法主要有高温高压法和化学气相沉积法两种。高温高压法制备的金刚石尺寸小,无法避免金属杂质使得制备的金刚石应用受到限制。在所有的化学气相沉积中,微波等离子体化学气相沉积法具有无放电污染,能量转换效率高,工艺参数易于调节等优点。用微波等离子体化学气相沉积法制备大尺寸、高速率、高质量的单晶金刚石受到广泛重视。介绍了微波等离子体化学气相沉积单晶金刚石的制备工艺,对提高金刚石生长速率,扩大金刚石单晶尺寸两个方面的研究进展进行了综述,并对单晶金刚石的前景进行了展望。
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内容分析
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文献信息
篇名
微波法制备单晶金刚石的研究进展
来源期刊
武汉工程大学学报
学科
工学
关键词
微波等离子体
化学气相沉积
单晶金刚石
年,卷(期)
2016,(4)
所属期刊栏目
材料科学与工程
研究方向
页码范围
357-363
页数
7页
分类号
TB43
字数
2943字
语种
中文
DOI
10.3969/j.issn.1674-2869.2016.04.009
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
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1
黄平
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汪建华
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刘繁
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节点文献
微波等离子体
化学气相沉积
单晶金刚石
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
武汉工程大学学报
主办单位:
武汉工程大学
出版周期:
双月刊
ISSN:
1674-2869
CN:
42-1779/TQ
开本:
大16开
出版地:
武汉市江夏区流芳大道特1号,武汉工程大学流芳校区,西北区1号楼504学报编辑部收
邮发代号:
创刊时间:
1979
语种:
chi
出版文献量(篇)
3719
总下载数(次)
13
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