微波法制备单晶金刚石的研究进展

• 作者: 刘繁 汪建华 王小安 翁俊 黄平
• 来源期刊: 武汉工程大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微波等离子体 化学气相沉积 单晶金刚石
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 材料科学与工程
• 页码范围: 357-363
• 页数: 7页
• 分类号: TB43
• 字数: 2943字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-2869.2016.04.009

摘要

人工合成金刚石的方法主要有高温高压法和化学气相沉积法两种。高温高压法制备的金刚石尺寸小，无法避免金属杂质使得制备的金刚石应用受到限制。在所有的化学气相沉积中，微波等离子体化学气相沉积法具有无放电污染，能量转换效率高，工艺参数易于调节等优点。用微波等离子体化学气相沉积法制备大尺寸、高速率、高质量的单晶金刚石受到广泛重视。介绍了微波等离子体化学气相沉积单晶金刚石的制备工艺，对提高金刚石生长速率，扩大金刚石单晶尺寸两个方面的研究进展进行了综述，并对单晶金刚石的前景进行了展望。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄平		1	3	1.0	1.0
2	汪建华		2	23	2.0	2.0
3	刘繁		1	3	1.0	1.0
4	翁俊		1	3	1.0	1.0
5	王小安		1	3	1.0	1.0