一种具有导向机构的谐振型SAW压力传感器

• 作者: 文玉梅 李平 沈卫东 王培文 阮喻
• 来源期刊: 现代科学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波谐振器 压力传感器 集中载荷 导向机构
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 仪器研制与开发
• 页码范围: 30-35
• 分类号: TP212
• 语种: 中文

摘要

设计了一种基于声表面波谐振器的压力传感器,其敏感单元采用声表面波器件制成的简支梁结构,采取集中载荷在叉指换能器背部施力的方式.为保证压力传导方向的一致性,设计并制作了双平行四簧片导向机构,并利用ANSYS软件对其进行了仿真验证.最后进行了力学加载实验,发现该压力传感器具有极高的灵敏度,而且重复性误差、迟滞性误差较小.实验结果为声表面波压力传感器的结构设计提供了有益参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	沈卫东	重庆通信学院军用特种电源军队重点实验室	52	178	7.0	10.0
2	文玉梅	重庆大学光电工程学院	147	1964	25.0	34.0
3	李平	重庆大学光电工程学院	155	1865	23.0	33.0
4	王培文	重庆通信学院军用特种电源军队重点实验室	4	14	2.0	3.0
5	阮喻	重庆大学光电工程学院	7	38	4.0	6.0